[쿠키과학] ‘반도체 공정 스스로 분석·예측’… 기계연, AI 통합 플랫폼 구현

인공지능(AI)이 반도체 공정을 실시간으로 분석하고 스스로 제어하는 시대가 한 걸음 더 가까워졌다. 한국기계연구원(이하 기계연) 반도체장비연구센터 김형우 박사팀이 세계 최초로 차세대 2차원(2D) 반도체용 플라즈마 통합 지능화 시스템을 개발했다고 17일 밝혔다. 이번 성과는 기존 양산 장비의 관측창(view port)을 그대로 활용할 수 있어 AI 반도체와 차세대 전자소자, 디스플레이 산업에 폭넓게 활용될 전망이다. 연구팀은 6인치 웨이퍼 기반 2D 반도체 합성·식각 공정을 자동화하고, AI를 활용해 공정 결과를 원자층 수준까지...

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