이번 사업은 구미 반도체 특화단지 내에 반도체 장비용 소재·부품을 직접 제작하고 성능을 검증할 수 있는 인프라를 구축하는 프로젝트로, 올해부터 오는 2030년까지 5년간 총 400억 원이 투입된다.
반도체 챔버는 웨이퍼가 실제 공정을 수행하는 핵심 공간으로, 고온·극저온·플라스마·화학반응 등 극한 환경에 지속적으로 노출된다. 이에 따라 챔버 내부에 적용되는 소재와 부품의 성능은 반도체 생산 수율과 장비 가동률을 결정하는 핵심 요소로 평가받고 있다.
특히 반도체 공정의 고집적화와 미세화가 빠르게 진행되면서 극한 환경에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있는 첨단 세라믹 소재 기술의 중요성이 커지고 있다. 업계에서는 차세대 반도체 경쟁력 확보를 위해 고기능성 세라믹 소재·부품 기술이 필수적이라는 분석이 나온다.
기술원은 이번 사업을 통해 해외 의존도가 높은 반도체 챔버 핵심 부품 3종의 국산화에 집중할 계획이다. 주요 대상은 정전기를 이용해 웨이퍼를 고정하는 ‘정전척(ESC)’, 플라스마 에너지를 원하는 위치에 집중시키는 ‘내플라스마 포커스 링’, 챔버 내부를 보호하는 ‘고기능성 챔버 라이너’ 등이다.
이를 위해 경북 구미에 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원센터와 클린룸을 구축하고, 원료 배합부터 시제품 제작, 시험·평가, 성능 검증 데이터 확보까지 전 과정을 지원하는 원스톱 지원체계를 마련한다.
테스트베드에서 생산되는 공인 검증 데이터는 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 수요기업 및 글로벌 반도체 장비업체와 협력할 때 객관적인 기술 검증 자료로 활용될 전망이다. 이를 통해 제품 상용화 기간 단축과 양산 대응력 향상, 글로벌 공급망 진입 확대 효과가 기대된다.
이번 사업은 한국세라믹기술원을 비롯해 경상북도와 구미시가 기획 단계부터 긴밀히 협력해 추진됐다. 또한 한국산업기술시험원, 한국반도체산업협회, 구미전자정보기술원이 공동 참여해 부품 개발부터 수요기업 연계까지 전 과정을 체계적으로 지원할 예정이다.
윤종석 원장은 “이번 사업은 반도체 챔버 핵심 소재·부품의 해외 의존도를 낮추고 국내 기업의 기술 자립과 글로벌 공급망 진입을 지원하는 중요한 기반이 될 것"이라며 ”세라믹 소재·공정 분야의 전문성을 바탕으로 경상북도와 구미시와 협력해 남부권 반도체 소부장 제조·검증 거점으로 성장할 수 있도록 적극 지원하겠다"고 말했다.
이어 "향후 구축될 테스트베드가 지역 기업들의 시제품 제작과 성능 검증, 수요기업 연계를 지원하는 현장 중심 기술지원 플랫폼으로 활용되길 기대한다"며 "지역 주도의 반도체 소부장 육성 모델을 만들어 국가 균형발전에도 기여하겠다"고 덧붙였다.
한편 한국세라믹기술원은 산업통상자원부 산하 세라믹 전문 연구기관으로, 연구개발(R&D)부터 시험·분석, 기술사업화, 산업정책 지원까지 수행하며 국내 세라믹 산업 경쟁력 강화에 핵심적인 역할을 담당하고 있다.
진주=강연만 기자 kk77@kukinews.com
